排ガス処理ユニットの正式販売開始しました。

今年のJPCAショーにもカタログ紹介させていただきましたが、

ろ過精度に優れたフィルターで、メンテナンス費用が大幅に削減出来ます。

特に、台湾半導体関連メーカーなどに相当数の実績を持っており、

某大手パッケージメーカーでも性能の関係で、日本製から切り替えている企業様も御座います。

現在、２モデル（AST-F01-01/AST-F02-01）ご紹介しておりますが、

どちらの機種も濾過精度は0.3μm 95%を達成しています。

＜対応可能なガスの種類＞

①不活性ガス（Inert Gas）：He,SF6,CO2,CF4,C2F6,C4H8,CH3Fなど

②可燃性ガス（Flammable gas）：SiH4,Si2H6,B2H6,PH3,SiH2CI2,CH3,C2H2,COなど

詳細カタログも有りますので、必要な際はお問い合わせください。